照明光学系

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-170394
公開番号（公開出願番号）：特開平6-011663
出願日： 1992年06月29日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【目的】IC等の露光装置に用いられる照明光学系において、伝達される光量の損失がほとんどない状態で、オプティカルインテグレーター入射端での光の広がり状態を変化させることを可能にする。【構成】照明光学系を構成する楕円鏡2とオプティカルインテグレーター3との間に、凹型の円錐面を有する第1屈折部材fと第1屈折部材の凹型の円錐面に対向して凸型の円錐面を有する第2屈折部材gとを配置し、これら第1屈折部材f及び第2屈折部材g間の間隔を光軸方向に変化させる。または、楕円鏡2とオプティカルインテグレーター3との間に、作用の異なる円錐型の屈折部材jを交換可能に配置し、これら屈折部材jを交換する。

請求項（抜粋）：

楕円鏡と、楕円鏡の第一焦点近傍に配置された光源と、楕円鏡からの光を受けて複数の二次光源を形成するオプティカルインテグレーターと、オプティカルインテグレーターにより形成される二次光源像を投影レンズの入射瞳位置に作成すると共に、投影レンズのオプティカルインテグレーター側に均一照度の面を作る光学系と、を有する照明光学系において、楕円鏡とオプティカルインテグレーターの間に、凹型の円錐面を有する第1屈折部材と第1屈折部材の凹型の円錐面に対向して凸型の円錐面を有する第2屈折部材とを配置し、これら第1屈折部材及び第2屈折部材間の間隔を光軸方向に変化させることによりオプティカルインテグレーターの入射側光束の広がり幅を調整することを特徴とする照明光学系。

IPC (5件)：

G02B 27/00 , G03B 27/32 , G03B 27/54 , G03F 7/20 521 , H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 311 S , H01L 21/30 311 W

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