特許
J-GLOBAL ID:200903034975373654

回路測定用端子およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山下 穣平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-161817
公開番号(公開出願番号):特開平7-094558
出願日: 1992年05月29日
公開日(公表日): 1995年04月07日
要約:
【要約】【目的】 針状結晶の形成時にクラック等が生じるような導電材料であっても、配線材料として用いることを可能とする。【構成】 配線パターンと同一形状のパターンの単結晶膜2aの導電膜形成面と、該導電膜形成面に隣接する非導電膜形成面とを備えた基板1と、前記導電膜形成面内の所望の位置に形成された針状結晶4と、前記導電膜形成面上と前記針状結晶上とに形成された導電膜5,6と、を備える。
請求項(抜粋):
配線パターンと同一形状のパターンの導電膜形成面と該導電膜形成面に隣接された非導電膜形成面とを備えた基板と、前記導電膜形成面内の所望の位置に形成された針状結晶と、前記導電膜形成面上と前記針状結晶上とに形成された導電膜と、を備えた回路測定用端子。
IPC (2件):
H01L 21/66 ,  G01R 1/073
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平3-126240
  • 特開平3-209103

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