特許

J-GLOBAL ID：200903034975510090

アイリスダイヤフラム

発明者： トーマス・ビショッフ
出願人/特許権者： カール-ツァイス-シュティフトゥング・トレーディング・アズ・カール・ツァイス
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-104974
公開番号（公開出願番号）：特開2001-351858
出願日： 2001年04月03日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：

【要約】【課題】 使用寿命が長く、特に葉状体の高い開閉サイクルに対しても磨耗が少なく、且つ精密に作動するアイリスダイヤフラムを提供する。【解決手段】 半導体リソグラフィにおける露出レンズ用のアイリスダイヤフラムは、互いに相対的に回転できるダイヤフラム基体2及び溝付きリング2を備え、ダイヤフラム開口を調節するために、各々、前記ダイヤフラム基体2と溝付きリング内1に取り付けられて、溝付きリング内に配列された湾曲のトラック6によりガイドされる多数の葉状体4を有する。駆動装置11は、前記ダイヤフラム基体と溝付きリングとを互いに対して捩じる作用をする。トラック6は、交互的な有効領域の湾曲部6aと復帰湾曲部6bに分割されている。ダイヤフラム基体または溝付きリングは、駆動装置11により予め選択された回転駆動方向に回転でき、葉状体4は、トラック6内で循環する形態でガイドされる。

請求項（抜粋）：

互いに相対的に回転できるダイヤフラム基体(2)及び溝付きリング(1)と、ダイヤフラム開口を調節するために、各々、前記ダイヤフラム基体と溝付きリング内に取り付けられて、溝付きリング内に配列された湾曲のトラック(6)によりガイドされる多数の葉状体(4)と、前記ダイヤフラム基体と溝付きリングとを互いに対して捩じるための駆動装置(11)とを具備する特に半導体リソグラフィにおける露出レンズ用のアイリスダイヤフラムであって、前記湾曲のトラック(6)は、溝付きリング(1)内の円周方向のトラック(6)として形成され、前記トラックは、交互的な有効領域の湾曲部(6a)と復帰湾曲部(6b)に分割され、前記ダイヤフラム基体(2)または溝付きリング(1)は、前記駆動装置(11)により予め選択された回転駆動方向に回転でき、前記葉状体(4)は、前記円周方向のトラック(6)内で循環する形態でガイドされるアイリスダイヤフラム。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03B 9/24

FI (2件)：

G03B 9/24 ,  H01L 21/30 515 E

Fターム (4件)：

2H081AA60 ,  2H081BB11 ,  2H081BB28 ,  5F046CB06