特許
J-GLOBAL ID：200903034992316362
フリンジスキャニング干渉測定方式による波面の位相 つなぎ方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-171718
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340843
出願日： 1992年06月05日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】 干渉縞パターン中にゴミや欠陥が存在して、一部の位相データが欠落しても連続的な位相分布を得ることのできる位相つなぎ方法を提供することを目的とする。【構成】 フリンジスキャニング干渉測定方式により、測定光と参照光とをエリアセンサー上で干渉せしめ、参照光の位相を段階的に変化させ、その各段階での干渉縞の強度値を読み取り、そのデータに基づき演算処理を行って各点での位相を求める方法において、求めた位相データ領域を一方向でスキャンし、各スキャニングライン毎に位相データが連続して存在する連続位相領域を検出し(ステップS1)、この中で位相つなぎを行うステップS2と、前記方向と直交する方向で前記連続位相領域同士の位相つなぎを行うステップS3とにより、連続的な位相分布を求める。
請求項（抜粋）：
フリンジスキャニング干渉測定方式により、測定光と参照光とをエリアセンサー上で干渉せしめ、参照光の位相を段階的に変化させ、その各段階での干渉縞の強度値を読み取り、そのデータに基づき演算処理を行って各点での位相を求める方法において、求めた位相データ領域を一方向でスキャンし、各スキャニングライン毎に位相データが連続して存在する連続位相領域中で位相つなぎを行う第一ステップと、前記方向と直交する方向で前記連続位相領域同士の位相つなぎを行う第二ステップとにより、連続的な位相分布を求めることを特徴とする位相つなぎ方法。
IPC (3件)：
G01M 11/02
, G01B 9/02
, G01J 9/02
