特許

J-GLOBAL ID：200903035002052133

液体の撹拌装置及びこの撹拌装置を用いた真空脱気装置並びに真空蒸着装置

発明者： 西田 貴則 ,  安田 登志夫 ,  吉村 裕司
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-321792
公開番号（公開出願番号）：特開平9-155177
出願日： 1995年12月11日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：

【要約】【課題】 摩耗しにくい撹拌子1を用いることにより、液体Aの種類に関係なく強力に撹拌できるとともに、この強力な撹拌により効率よく真空脱気をもできる液体の撹拌装置10及びこの撹拌装置を用いた真空脱気装置100並びに真空蒸着装置200を提供すること。【解決手段】 非磁性体で形成された、液体Aを収容する容器2内に液体Aを撹拌する撹拌子1を設け、容器2の底面に設けられた回転磁界発生手段3により撹拌子1を回転させる。そして、撹拌子1と容器2の底面23aとの接触部における撹拌子1または容器2のいずれか一方の材質を、多数の孔を有する多孔質材料12で形成する。

請求項（抜粋）：

非磁性体で形成された容器内に液体を撹拌する磁性体からなる撹拌子が設けられ、前記容器の底面に設けられた回転磁界発生手段により前記撹拌子を回転させる液体の撹拌装置であって、前記撹拌子と前記容器の底面との接触部における前記撹拌子または前記容器のいずれか一方が、表面に多数の孔を有する多孔質材料で形成されていることを特徴とする液体の撹拌装置。

IPC (3件)：

B01F 13/08 ,  B01D 19/00 101 ,  C23C 14/24

FI (3件)：

B01F 13/08 Z ,  B01D 19/00 101 ,  C23C 14/24 M

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭59-145054
  
• 特開昭62-277134