特許

J-GLOBAL ID：200903035010956602

ワイヤボンドの特徴を測定してボンディング・プロセスの品質を管理する方法

発明者： スレーニバサン ケイ、コドウリ
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-270073
公開番号（公開出願番号）：特開2002-158255
出願日： 2001年09月06日
公開日（公表日）： 2002年05月31日
要約：

【要約】【課題】 ワイヤボンドの特徴を検査し測定して、ボンディングプロセスの品質管理を行う自動化されたシステム700と方法を開示する。【解決手段】 最初にボンド接着前のボンディングパッドの第1の画像741を取得し、前記パッドの中心の座標を決めた後746、前記パッドの中心にボール形ワイヤボンドを接着する731。次にボンド接着後の前記ボンディングパッドの、ボンドのボール形部分と前記ボンドのワイヤ部分の画像を含む第2の画像742を取得する。第1と第2の画像をコンピュータ処理751してボンドのボール形部分の中心の座標を決める。ボンドの中心とパッドの中心の座標を比較し756、ボンダーの命令とボンディングプロセスの品質管理用情報をつくる。最後に中心座標間で識別した差異を訂正する新しい命令をボンダーに入力することにより、ボンディングプロセスの品質を管理する。

請求項（抜粋）：

集積回路のボンディング・パッドに接続用ボンドを接着するように予めプログラムされている自動ボンダーで形成された、ボール形ワイヤボンドを検査し測定するためのコンピュータで実現される方法であって、前記ボンダーは、付随するコンピュータ制御視覚システムを備えた前記方法において、ボンド接着前の前記ボンドの第1の画像を取得するステップと、前記パッドの中心の座標を決定するステップと、前記パッドの中心に前記ボール形ワイヤボンドを接着するように、前記ボンダーに命令するステップと、ボンド接着後の前記ボンディング・パッドの第2の画像を取得するステップであって、前記第2の画像は、前記ボンドのボール形部分の画像と、前記ボンドのワイヤ部分の画像を含むステップと、前記第1と第2の画像のコンピュータ処理によって、前記ボンドの前記ボール形部分の中心の座標を決定するステップと、前記ボンドの中心と前記パッドの中心の前記座標を比較して、前記ボンダーの命令とボンディング・プロセスの品質管理のための情報をつくるステップと、前記中心座標間で識別された差異をすべて訂正する新しいボンダーの命令を入力することにより、前記ボンディング・プロセスの品質を管理するステップと、含む前記方法。

IPC (5件)：

H01L 21/60 301 ,  G01B 11/00 ,  G06T 1/00 305 ,  G06T 7/00 300 ,  G06T 7/60 150

FI (5件)：

H01L 21/60 301 L ,  G01B 11/00 H ,  G06T 1/00 305 C ,  G06T 7/00 300 E ,  G06T 7/60 150 C

Fターム (21件)：

2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065CC27 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065QQ31 ,  5B057AA03 ,  5B057CA12 ,  5B057CB20 ,  5B057CC04 ,  5B057CH01 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DC30 ,  5B057DC33 ,  5F044BB00 ,  5L096BA03 ,  5L096DA02 ,  5L096FA62 ,  5L096FA76 ,  5L096HA07