特許
J-GLOBAL ID：200903035011958145
ケミカルミーリング用感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
穂高 哲夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-295299
公開番号（公開出願番号）：特開平11-133617
出願日： 1997年10月28日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】 下地金属、特に、リードフレームやメタルマスクの基板などに用いられる42アロイやSUS等の鉄系合金との密着性に優れ、精密金属加工に好適に用いられるケミカルミーリング用感光性樹脂組成物及び感光性フィルムを提供する。【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物(C)光重合開始剤、(D)一般式(I)で表されるテトラゾール化合物又はその水溶性塩及び(E)光重合性不飽和結合含有リン酸化合物を含有し、希アルカリ水溶液で現像可能なケミカルミーリング用感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム。【化1】(式中、R1及びR2は、各々独立に、水素、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、フェニル基、アミノフェニル基、炭素数7〜20のアルキルフェニル基、アミノ基、メルカプト基、炭素数1〜10のアルキルメルカプト基又は炭素数2〜10のカルボキシアルキル基を示す。)
請求項（抜粋）：
(A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤、(D)一般式(I)で表されるテトラゾール化合物又はその水溶性塩及び(E)光重合性不飽和結合含有リン酸化合物を含有し、希アルカリ水溶液で現像可能なケミカルミーリング用感光性樹脂組成物。【化1】(式中、R1及びR2は、各々独立に、水素、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、フェニル基、アミノフェニル基、炭素数7〜20のアルキルフェニル基、アミノ基、メルカプト基、炭素数1〜10のアルキルメルカプト基又は炭素数2〜10のカルボキシアルキル基を示す。)
IPC (5件)：
G03F 7/085
, G03F 7/004 512
, G03F 7/027 502
, G03F 7/029
, H05K 3/06
G03F 7/085
, G03F 7/004 512
, G03F 7/027 502
, G03F 7/029
, H05K 3/06 H
