基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉谷勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-239393
公開番号（公開出願番号）：特開2003-051434
出願日： 2001年08月07日
公開日（公表日）： 2003年02月21日
要約：

【要約】【課題】基板に対する搬送作業とは直接的に関係のない動作を前のリソースと並行して行なうことにより、待ち時間を少なくしてスループットを向上させることができる。【解決手段】予めスケジュールを作成する際に、搬送作業(「D動作」)に必要な第3搬送機構15のリソースを使用するとともに、この搬送作業に伴うカバー17a,21a、リフター17bのブランチリソースを、その前に使用する純水洗浄装置21のリソースと並行して使用する。これによりカバーの開閉などの作業を「D動作」を行なう直前に行なうことができるので、搬送作業に迅速に移ることができる。その結果、待ち時間を少なくしてスループットを向上させることができる。

請求項（抜粋）：

搬送を含む処理を基板に対して施す複数個のリソースを備えた基板処理装置により、各リソースを使用しながら処理する際に各々のリソースを使用するタイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、実際に基板に対する処理を開始する前に各リソースの使用タイミングを予め作成するとともに、搬送機構による基板に対しての直接的な処理である搬送作業に付随する動作をブランチリソースとして定義し、前記搬送機構のリソースを使用して基板に対して搬送作業を行なう場合には、前記搬送機構のリソースを使用するとともに、前記搬送機構により基板に対して搬送作業を行なう前に使用するリソースと並行して前記ブランチリソースを使用することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。

IPC (5件)：

H01L 21/02 , B08B 3/04 , G05B 19/418 , H01L 21/304 648 , H01L 21/68

FI (5件)：

H01L 21/02 Z , B08B 3/04 B , G05B 19/418 B , H01L 21/304 648 H , H01L 21/68 A

Fターム (14件)：

3B201AA02 , 3B201AA03 , 3B201AB01 , 3B201BB92 , 3B201BB93 , 3B201CB15 , 3B201CC11 , 3C100AA05 , 3C100AA47 , 3C100BB21 , 3C100EE06 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031PA03

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