圧電共振子、これを用いた圧電フィルタ、デュプレクサ、通信装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-270120
公開番号（公開出願番号）：特開2003-168953
出願日： 2002年09月17日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：

【要約】【課題】圧電共振子において、不要振動を低減でき、かつ、耐電力性を向上させること。【解決手段】開口部2若しくは凹部を有する基板3と、前記開口部2若しくは凹部を覆い、ダイヤフラム4を形成する絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成されている、少なくとも1層以上の圧電膜を有する薄膜部6の上下面を少なくとも一対の上部電極7および下部電極5を対向させて挟む構造の振動部9とを有する圧電共振子において、前記振動部9の周囲の上部電極7を拡大して形成される放熱器10を有する

請求項（抜粋）：

開口部若しくは凹部を有する基板と、前記開口部若しくは凹部を覆い、ダイヤフラムを形成する絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成されている、少なくとも1層以上の圧電膜を有する薄膜部の上下面を少なくとも一対の上部電極及び下部電極を対向させて挟む構造の振動部とを有する圧電共振子において、前記振動部の周囲の上部電極を拡大して形成される放熱器を有することを特徴とする、圧電共振子。

IPC (4件)：

H03H 9/17 , H03H 9/58 , H03H 9/70 , H04B 1/50

FI (4件)：

H03H 9/17 F , H03H 9/58 A , H03H 9/70 , H04B 1/50

Fターム (16件)：

5J108AA01 , 5J108AA07 , 5J108BB07 , 5J108CC04 , 5J108CC11 , 5J108DD01 , 5J108DD06 , 5J108DD07 , 5J108EE03 , 5J108EE04 , 5J108FF01 , 5J108KK02 , 5K011DA21 , 5K011DA27 , 5K011EA01 , 5K011JA01

引用特許：

出願人引用 (2件)

基板実装型バルク波音響共鳴器の空洞全体にまたがる下部電極
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-137000 出願人：アジレント・テクノロジーズ・インク
特開昭60-142607号(全文、第1図、第2図)

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