特許

J-GLOBAL ID：200903035018784975

ガスベアリング基板装填機構

発明者： カッサーニュ,バレリック
出願人/特許権者： オー・ツェー・エリコン・バルザース・アクチェンゲゼルシャフト
代理人 (6件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-519595
公開番号（公開出願番号）：特表2008-505041
出願日： 2005年07月07日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：

真空またはほぼ真空の条件下で使用するための浮上装置は、ガス用の複数の噴射点(1)および隣接する吸引点(2)を有する浮上プレート(3)を含み、空気ベアリング(4)を作り出して、それにより薄いプレート状基板(5)を支持する。さらに別の実施例は、支持された基板用の搬送機構、および/または浮上プレートを傾ける傾斜機構を含む。

請求項（抜粋）：

真空またはほぼ真空の条件下で使用するための浮上装置であって、ガス用の複数の噴射点(1)および隣接する吸引点(2)を有する浮上プレート(3)を含み、空気ベアリング(4)を作り出して、それにより薄いプレート状基板(5)を支持する、浮上装置。

IPC (3件)：

B65G 49/07 ,  H01L 21/677 ,  B65G 51/03

FI (3件)：

B65G49/07 K ,  H01L21/68 A ,  B65G51/03 A

Fターム (8件)：

5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031GA63 ,  5F031GA64 ,  5F031MA28 ,  5F031NA04 ,  5F031NA05 ,  5F031PA20