薄膜熱物性測定方法及び薄膜熱物性測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (4件)：平木祐輔 , 関谷三男 , 渡辺敏章 , 今村健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-235679
公開番号（公開出願番号）：特開2009-068909
出願日： 2007年09月11日
公開日（公表日）： 2009年04月02日
要約：

【課題】膜厚を考慮した解析モデルを組み込んだ表面加熱・表面測温型の薄膜熱拡散率測定装置を構築する。【解決手段】基板1をレーザパルス光などの加熱パルス光3を用いることにより、基板1上に成膜された薄膜2の表面を瞬間的に加熱すると表面温度が瞬間的に上昇する。その後、熱は、薄膜2の内部へ拡散し基板1内へと浸透し、薄膜2の表面温度は減衰する。測温パルス光4(P2)は、加熱パルス光3(P3)と同じ領域に照射される(4a)。その反射光(4b)の光強度は、薄膜2の表面温度に依存してわずかに変化する。この反射光の強度を検知器5により検知し、薄膜2表面の温度変化を検出する。検知器5は、反射光の強度を測定する光強度センサ5aと、光強度センサ5aからの信号に基づいて実際の温度とその変化を求め、記録する情報処理装置5bとを備えている。情報処理装置は、膜厚を考慮した解析モデルから、薄膜の熱拡散率を算出する演算部が組み込まれている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板に成膜された薄膜の表面を周期的なパルス列で加熱するステップと、前記薄膜の表面の加熱されている加熱領域の温度変化を検出するステップと、前記薄膜の周期的な表面温度変化を時間の関数として取得するステップと、取得した前記薄膜の表面温度の時間変化と薄膜の膜厚とに基づいて、対象となる薄膜の膜厚を考慮した解析モデルから、前記薄膜の熱拡散率を算出するステップと、を有することを特徴とする薄膜熱物性測定方法。

IPC (1件)：

G01N 25/18

FI (1件)：

G01N25/18 H

Fターム (9件)：

2G040AB09 , 2G040BA08 , 2G040BA26 , 2G040CA01 , 2G040CA23 , 2G040DA05 , 2G040DA12 , 2G040EA06 , 2G040EC02

引用特許：

出願人引用 (3件)

米国特許公報:US 7,182,510 B2
特許第3252155号公報
高速パルス高速時間応答測定方法並びに装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-128426 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所

前のページに戻る