特許
J-GLOBAL ID：200903035024918193
X線顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-052410
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265699
出願日： 1993年03月12日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 試料に照射する励起用輻射線としての紫外線の波長を、観察対象に適した紫外線波長が照射されるように観察対象に応じて変更し、良好な画質の透過X線顕微鏡像を得る。【構成】 X線発生用のNd:YAGレーザ51からのレーザ光の一部をハーフミラー64で分岐し、KDP結晶66で紫外波長域の3倍高調波に変換し、オプティカルパラメトリック発振器90で紫外線波長を調整し、高調波発生器91でさらに高調波に変換し、ミラー67、集光レンズ60、ウェッジ92を経て紫外線をサンプル58に斜めに照射する。その際、観察対象の物質名等を入力して、オプティカルパラメトリック発振器90により紫外線波長を可変制御する。
請求項（抜粋）：
試料に対し励起用輻射線および軟X線を照射して該試料の透過X線顕微鏡像を撮像するX線顕微鏡において、前記励起用輻射線の波長を撮像対象に応じて変更するように構成したことを特徴とする、X線顕微鏡。
引用特許：
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