特許
J-GLOBAL ID：200903035026905080
容量検出型センサの製造方法および容量検出型センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-077379
公開番号（公開出願番号）：特開2005-265565
出願日： 2004年03月18日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：
【課題】振動子から導出された引き出し電極と検出電極から導出された引き出し電極とを同電位にすることで、検出電極への振動子の引き寄せを起こさせずに、高感度な容量検出型センサを製造することを可能とする。【解決手段】第1基板100に設けた支持部103-1〜4に支持弾性体102-1〜4の一方端を接続し、支持弾性体102-1〜4の他方端に第1基板100表面から浮遊した状態で支持された第1,第2振動子101-1,2を設け、第1,第2振動子101-1,2に空間を介して対向して検出電極201-1,2を設け、第1基板100と対向するもので検出電極201-1,2を形成する第2基板200を備えた容量検出型センサ1の製造方法であって、第1基板100と第2基板200とを接着させる際に、第1,第2振動子101-1,2から導出された引き出し電極212-1〜4と検出電極201-1,2から導出された引き出し電極211-1,2とを同電位にする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1基板と、
前記第1基板の表面に設けられた支持部と、
前記支持部に一方端が接続された支持弾性体と、
前記第1基板表面からある一定の間隔を有して浮遊した状態で前記支持弾性体の他方端に支持され、前記第1基板に対して変位可能な振動子と、
前記振動子の変位を検出するもので前記振動子に空間を介して対向して設けられた検出電極と、
前記第1基板と対向するもので前記検出電極が形成された第2基板と
を備えた容量検出型センサの製造方法であって、
前記第1基板と前記第2基板とを接着させる際に、
前記振動子から導出された引き出し電極と前記検出電極から導出された引き出し電極とを同電位にする
ことを特徴とする容量検出型センサの製造方法。
IPC (6件)：
G01C19/56
, B81B3/00
, B81C1/00
, G01P9/04
, G01P15/125
, H03K17/955
G01C19/56
, B81B3/00
, B81C1/00
, G01P9/04
, G01P15/125 Z
, H03K17/955 A
2F105BB02
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD13
, 5J050AA00
, 5J050AA48
, 5J050BB22
, 5J050FF25
