特許
J-GLOBAL ID：200903035031272568
粒子分析のための改良型粒子センサ及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡部 正夫 (外10名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-510412
公開番号（公開出願番号）：特表平9-502254
出願日： 1993年12月06日
公開日（公表日）： 1997年03月04日
要約：
【要約】粒子センサ(10)はマスク等により遮られぬミラー空洞部(79)を有する。光検出装置(75)は前記ミラーの第二次焦点(16)に配され、該ミラー空洞部(79)の充分外側にある。別種の粒子センサにはビーム・スプリッタ(105)と第二光検出装置(77)とが含まれ、より大きな粒子(29)を検出すべく改良がなされている。第二の実施例には光ビーム(31)に沿い片寄りを設けて配した一組の楕円形ミラー(11a、11b)が含まれる。第二ミラー(11b)で反射した光はレーザー装置電力の変動とガス分子(161)により散乱された光だけを表す。前記ミラーから光が反射された結果、形成された信号は第一ミラー(11a)が形成した信号から差し引かれ、微粒子(29)の分析に有用な比較的「クリーン」な信号が得られる。もう一つの別種粒子センサにはガス分子(161)によって散乱された光を集光する結像システム(209)が含まれる。
請求項（抜粋）：
(a)空洞部と、長軸と、この長軸に沿った第一次、第二次焦点とを備えたミラーと、(b)ある波長を有し、該第一次焦点に交差するビーム軸に沿って伸びる粒子照明光ビームと、(c)センサの観察体積部の内部に粒子を導く入口部とを含む粒子センサにおいて、 -該ミラーの空洞部は遮られることがなく、 -光検出装置を該第二次焦点に配し、 -該観察体積部は無境界の空間領域であり、 これにより、該波長よりもかなり小さい最大寸法を有する粒子が効率よく検出されることを特徴とする粒子センサ。
IPC (3件)：
G01N 15/14
, G01J 1/04
, G01N 21/53
G01N 15/14 P
, G01J 1/04 K
, G01N 21/53 Z
