特許
J-GLOBAL ID：200903035031938272
薄板表面の形状異常検出法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小谷 悦司
, 植木 久一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-370483
公開番号（公開出願番号）：特開2004-198374
出願日： 2002年12月20日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：
【課題】固体電解質膜用セラミックシートの如き薄板を対象として、その表面に存在する凹凸や微細突起、ウネリ、バリなどの表面異常を、簡単な方法で効率よく且つ高精度に検知することのできる方法と装置を提供すること。【解決手段】上面が平坦な台座と、該台座を挟んで対向するレーザー光発信・受信装置を使用し、前記台座が前記レーザー光発信・受信装置の間を通り抜ける様にこれらを相対的に水平方向に移動させると共に、前記レーザー光発信装置からレーザー光を帯状にした平行光発信させて、前記台座上に載置された薄板の表面に沿って走査させ、該レーザー平行光が薄板上面の高さ変動によって遮断される状況を、前記レーザー光受信装置で検出することにより、薄板表面の形状異常検出する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
上面が平坦な台座と、該台座を挟んで対向するレーザー光発信・受信装置を使用し、前記台座を前記レーザー光発信・受信装置の間を通り抜ける様にこれらを相対的に水平方向に移動させると共に、前記レーザー光発信装置からレーザー光を帯状にした平行光を前記台座に対して垂直方向に発信させて、前記台座上に載置された薄板の表面に沿って走査させ、該レーザー平行光が薄板上面の高さ変動によって遮断される状況を、前記レーザー光受信装置で検出することを特徴とする薄板表面の形状異常検出法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (17件)：
2F065AA24
, 2F065AA46
, 2F065AA49
, 2F065AA61
, 2F065BB01
, 2F065BB03
, 2F065CC00
, 2F065FF02
, 2F065GG07
, 2F065HH03
, 2F065HH05
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065QQ42
, 2F065SS04
