特許
J-GLOBAL ID：200903035033714584
基板収納容器および基板搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-087285
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270526
出願日： 1997年03月24日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】 基板収納容器に対して一方向より、基板収納容器内における基板の位置や枚数を精確に検知することができ、しかも、装置における占有スペースが少なくて済む基板位置検知を可能にする。【解決手段】 基板収納容器の背面に基板収納容器の正面から入射された光を反射するミラーを設け、基板収納容器の正面に配置した発光部より照射された光をミラーで反射させ受光部で反射光を検出し、基板収納容器内の半導体ウエハなどの搭載物についての各段における有無を検知する。
請求項（抜粋）：
平板状かつ薄板状の基板を複数枚垂直方向に一定間隔で保持するための複数の溝を少なくとも左右の側壁に有し、正面から基板を前記溝に対して挿入および取り出しされる基板収納容器において、背壁にリフレクターを備えたことを特徴とする基板収納容器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 L
