特許
J-GLOBAL ID：200903035035131497
流量制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-287890
公開番号（公開出願番号）：特開平7-141032
出願日： 1993年11月17日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】ガス流量を調節する流量制御装置において、広範囲に精密に流量制御でき、より小型化が図れるとともに付帯の配管や配線を安価にする。【構成】両側に導入排出口をもつ一つの配管の途中を複数の分岐配管5a,5b,5cに分離させ、これら分岐配管5a,5b,5cのそれぞれに流量を測定するセンサ部2a,2b,2cを設け、一つの分岐配管5aを除く総べての分岐配管5b,5cに開閉バルブ6a,6bを、排出口から流れるガス流量を制御する流量制御バルブ7とを具備させ、開閉バルブを任意に順次開けることによって、小さな流量から大きい流量まで広い範囲で流量を精密制御している。また、一つの配管から分岐配管5a,5b,5cに分離することにより形成し一体化した構造になっている。
請求項（抜粋）：
ガス供給装置より供給されるガスを導入するガス導入主配管と、この主配管から複数本に分岐される分岐配管と、複数の前記分岐配管の内一本を残しそれ以外の該分岐配管に取付けられる開閉弁と、それぞれの該分岐配管から分岐されるバイパス配管に取付けられる流量センサと、これら分岐配管を集合し該ガスを排出するガス排出主配管と、このガス排出主配管に取付けられる流量調節弁とを備え、前記開閉弁を任意に開き該ガスが流れる前記分岐配管の本数を変えるとともに前記流量調節弁の開度を変えることによって前記ガス排出主配管から導出される該ガスの流量を調節することを特徴とする流量制御装置。
IPC (2件)：
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