特許
J-GLOBAL ID：200903035046366275
塗布装置および塗布方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-020228
公開番号（公開出願番号）：特開平9-206657
出願日： 1996年02月06日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：
【要約】【課題】 ガラス基板上に塗膜を安定して形成でき、かつ、その生産性の向上を図れる塗布装置および塗布方法、並びにこれら装置および方法を用いたカラーフィルタの製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】 カラーフィルタの製造に用いられる塗布方法を実施する塗布装置は、塗布器としてのスリットダイにシリンジポンプを介して塗布液を供給する塗布液貯蔵源66を備えており、塗布液貯蔵源66は、密閉型の処理タンク68と、処理タンク68内を排気する排気管路84と、処理タンク68内に配置された超音波振動子78と、処理タンク68に補給管路96を介して接続されているとともにシリンジポンプに吸引ホース48を介して接続された密閉型の貯蔵タンク86とを備えている。
請求項（抜粋）：
塗布液を蓄える塗布液貯蔵源と、前記塗布液貯蔵源から塗布液を吸い込み、吸い込んだ塗布液を供給するポンプと、前記ポンプからの塗布液の供給を受け、吐出口から塗布液を吐出する塗布器と、前記塗布器および被塗布部材のうちの少なくとも一方を相対的に移動させる移動手段とを備えた塗布装置において、前記塗布液貯蔵源は、塗布液の供給を受ける処理タンクと、一方において前記処理タンクに接続され、他方において前記ポンプに接続された貯蔵タンクと、前記貯蔵タンク内を加圧した状態で、前記処理タンクから塗布液を前記貯蔵タンクに補給する補給手段とを備えていることを特徴とする塗布装置。
IPC (5件)：
B05C 11/10
, B01D 19/00
, B05C 5/02
, B05D 1/26
, B05D 3/00
B05C 11/10
, B01D 19/00 C
, B05C 5/02
, B05D 1/26 Z
, B05D 3/00 B
