特許

J-GLOBAL ID：200903035047338763

ポジ型感放射線性レジスト組成物

発明者： 森馬 洋 ,  中西 弘俊 ,  上谷 保則
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 諸石 光▲ひろ▼ (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-287648
公開番号（公開出願番号）：特開平5-127374
出願日： 1991年11月01日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：

【要約】【目的】 解像度、感度及び耐熱性の諸性能のバランスの優れたポジ型感放射線性レジスト組成物を提供する。【構成】 アルカリ可溶性樹脂、感放射線性成分及び一般式(I)【化1】(式中、R1 〜R3 は各々独立して水素原子、アルキル基またはアルコキシ基を表わし、nは1、2または3を表わす。)で示されるフェノール化合物を含有してなるポジ型感放射線性レジスト組成物。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、感放射線性成分及び一般式(I)【化1】(式中、R1 〜R3 は各々独立して水素原子、アルキル基またはアルコキシ基を表わし、nは1、2または3を表わす。)で示されるフェノール化合物を含有してなるポジ型感放射線性レジスト組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/027