特許
J-GLOBAL ID：200903035054390088
半導体加速度センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-304166
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159432
出願日： 1993年12月03日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】周波数特性を最適化するとともに過大加速度が印加された時に重り部が一定値以上変位するのを防ぐストッパ機能を有した半導体加速度センサを提供するにある。【構成】上部スットパB、下部ストッパCは、エアダンピング効果を利用してセンサ自体の周波数特性を制御するための凹部11a,11bと、この凹部11a,11bより突出し、過大加速度が印加されたときに重り部1が一定値以上変位しないように設けられた凸部12a,12bとから構成される。
請求項（抜粋）：
半導体基板を加工して夫々形成した重り部と、上記重り部に一端が一体連結され他端が支持部に一体支持され重り部の動きに連動して撓む撓み部と、上記支持部と、印加された加速度に比例した電圧を出力として取り出す手段とからなるセンシングエレメントを有するとともに、上記センジングエレメントの上下に夫々位置し、上記支持部と接合され過大加速度が印加されたときに上記重り部が一定値以上変位しないように規制する上部、下部ストッパを有し、上記上部、下部ストッパをセンサ自体の周波数特性をエアダンピングにより制御する凹部と、この凹部から突出し、過大加速度が印加されたときに重り部が一定値以上変位しないように規制する凸部とで構成したことを特徴とする半導体加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/02
, G01P 15/12
, H01L 29/84
