特許

J-GLOBAL ID：200903035055820361

静電浮上搬送装置

発明者： 吉田 康 ,  佐々木 巌
出願人/特許権者： 株式会社安川電機
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-314497
公開番号（公開出願番号）：特開平11-135599
出願日： 1997年10月29日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】 被搬送物の下面付近のパーティクルや浮遊イオンを吸着せずに、被搬送物をクリーンに搬送できる静電浮上搬送装置を提供する。【解決手段】 浮上用電極1a、1b、1c、1dを有する絶縁基板2と、各浮上用電極と対向する被搬送物4 と、各浮上用電極と被搬送物4 とのギャップを検出する変位センサ3a、3b、3c、3dと、各変位センサから得られた検出値を目標値と比較してその偏差を演算処理することで各浮上用電極への印加電圧を制御する制御器5と、を備え、 各浮上用電極への電圧の印加により被搬送物4 を静電吸引力により吸引して無接触で保持して搬送を行い静電浮上用搬送装置において、被搬送物4に対向して各浮上用電極の反対側に設けられ、被搬送物4 と同電位になるような電圧を印加するようにしたダミー電極6 を配設し、被搬送物4 とダミー電極6 の間に被搬送物4 の電位を計測する電位計7 を設けたものである。

請求項（抜粋）：

分離帯を挟んで複数に分割されて配置された正電圧と負電圧が交互に印加される浮上用電極を有する絶縁基板と、前記浮上用電極と対向する被搬送物と、前記浮上用電極と前記被搬送物とのギャップを検出する変位センサと、前記変位センサから得られた検出値を予め設定された目標値と比較してその偏差を演算処理することにより前記被搬送物が目標位置に浮上できるように前記浮上用電極への印加電圧を制御する制御器と、を備え、 前記浮上用電極への電圧の印加により前記被搬送物を静電吸引力により吸引して無接触で保持して搬送を行い、前記被搬送物が予定された位置に至ると前記浮上用電極への電圧の遮断により前記被搬送物を前記浮上用電極より離脱させる静電浮上用搬送装置において、前記被搬送物を挟んで前記浮上用電極と反対側に、前記被搬送物と同電位になるような電圧を印加するダミー電極を設けたことを特徴とする静電浮上搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/06 ,  B65G 54/02

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B25J 15/06 S ,  B65G 54/02