特許

J-GLOBAL ID：200903035067285593

プローブ

発明者： 鈴木 美彦 ,  中野 勝志
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-130163
公開番号（公開出願番号）：特開平11-326348
出願日： 1998年05月13日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】 試料形状の正確な計測を可能とするプローブを得る。【解決手段】 カンチレバー11の先端領域に、カンチレバー11の先端方向に所定角度傾斜させて探針12を設けたプローブである。このプローブを原子間力顕微鏡に固定して測定すると、探針は試料表面に垂直になるので、試料形状を正確に測定できる。

請求項（抜粋）：

カンチレバーの先端領域に探針を設けたプローブにおいて、前記探針を前記カンチレバーの先端方向に所定角度傾斜させたことを特徴とするプローブ。