特許
J-GLOBAL ID:200903035070989836

スペクトル評価装置およびスペクトル評価方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-069776
公開番号(公開出願番号):特開2000-266604
出願日: 1999年03月16日
公開日(公表日): 2000年09月29日
要約:
【要約】【課題】 拡散されたレーザビームをエタロンに照射し、レーザビームのスペクトルを評価する装置において、従来よりもスペクトルを正確に測定,算出できる装置及び方法を提供することを目的とする。【解決手段】 実効フィネスが同じでFSRの異なる2つのエタロン16、17を用いて、信号a、信号bを交互に測定し、この2つの信号から算出器22により、真のレーザビームのスペクトル及びエタロン16、17の実効フィネスを算出する。
請求項(抜粋):
拡散板、実効フィネスが同じでフリースペクトラムレンジの異なる2つのエタロン、レンズ、センサよりなるレーザビームのスペクトルを測定する装置と前記2つのエタロンにより測定したデータを比較し、真のレーザビームのスペクトル及び上記2つのエタロンの実効フィネスを算出する手段を有するスペクトル評価装置。
IPC (3件):
G01J 9/02 ,  G01J 3/26 ,  H01S 3/00
FI (3件):
G01J 9/02 ,  G01J 3/26 ,  H01S 3/00 G
Fターム (14件):
2G020AA05 ,  2G020CB23 ,  2G020CB44 ,  2G020CC23 ,  2G020CD16 ,  2G020CD24 ,  2G020CD36 ,  2G020CD39 ,  5F072AA06 ,  5F072HH02 ,  5F072JJ20 ,  5F072KK08 ,  5F072KK09 ,  5F072YY20

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