特許
J-GLOBAL ID:200903035080702608
ウェハーキャリヤ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岡田 英彦 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-177719
公開番号(公開出願番号):特開平8-088266
出願日: 1995年07月13日
公開日(公表日): 1996年04月02日
要約:
【要約】【課題】極めて粒子発生が少なく、寸法安定性及び静電気消散性を備えた半導体ウェハーあるいは磁気メモリディスクのためのキャリヤの提供。【解決手段】キャリヤ10は対向する側壁11,12と、それらを連結する端壁13,14を有している。側壁11,12はリブを有し、リブはディスクあるいはウェハー16を軸方向に配列するための溝15を形成している。側壁11,12とリブと端壁13,14はすべて一体化されており、重量で12〜25% のカーボン繊維フィラーが添加されたポリブチルテレフタレート(PBT)で射出成形により形成される。
請求項(抜粋):
ウェハーを保持するための少なくとも一つの溝を有するウェハーキャリヤであって、カーボン繊維が添加されたポリブチルテレフタレートから形成されているウェハーキャリヤ。
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