特許
J-GLOBAL ID：200903035080796521
複合分子ポンプ
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
小山 輝晃
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-171026
公開番号（公開出願番号）：特開平7-004383
出願日： 1993年06月17日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：
【要約】【目的】 複合分子ポンプの排気速度及び圧縮比を向上すると共に、小型軽量化を実現する。【構成】 ターボ分子ポンプ部2のロータ4aを金属製とすると共にネジ溝ポンプ部3の円筒ロータ6及び該円筒ロータ6と前記ターボ分子ポンプ部2のロータ4aとを接合する支板5を繊維強化複合材料により形成する。
請求項（抜粋）：
ターボ分子ポンプ部とネジ溝ポンプ部とからなる複合分子ポンプにおいて、該ターボ分子ポンプ部のロータを金属製とすると共に、該ネジ溝ポンプ部の円筒ロータ及び該円筒ロータと前記ターボ分子ポンプ部のロータとを接合する支板を繊維強化複合材料により形成したことを特徴とする複合分子ポンプ。
IPC (2件)：
前のページに戻る
