特許

J-GLOBAL ID：200903035101916921

キャリア及び研磨装置

発明者： 王 序進 ,  杉山 美寿男 ,  泉 重人
出願人/特許権者： スピードファム・アイペック株式会社
代理人 (1件)： 塚原 孝和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-237763
公開番号（公開出願番号）：特開2000-061824
出願日： 1998年08月24日
公開日（公表日）： 2000年02月29日
要約：

【要約】【課題】 リテーナリングに加える力,ワークピースの外周部に加える力及びワークピースの中央部分に加える力をそれぞれ制御することができるようにして、ワークピース全面の均一な研磨とワークピースの突出量の自動調整とを可能にしたキャリア及び研磨装置を提供する。【解決手段】 キャリア1を、キャリア本体2と、キャリア本体2の下面外周に突設されたリテーナリング3と、キャリア本体2内に上下動自在に取り付けられた可動体4と、可動体4をキャリア本体2と一体に回転させる回転伝達機構とで構成した。そして、可動体4の上方に圧力室5を形成し、可動体4の押圧盤44に、圧力室5内の空気圧に対応した圧力でウエハWの外周部Waを押圧するためのウエハ外周押圧部40を形成すると共に、ウエハWの中央部分を可撓性シート45を介して押圧するための圧力室41を形成した。

請求項（抜粋）：

キャリア本体の下面外周に突設され且つワークピースを外側から囲んで保持可能なリテーナリングと、上記リテーナリングの内側に上下動自在に取り付けられ且つその下面部が上記ワークピースの上面の略全体に接触可能な可動体と、上記可動体を上記キャリア本体と一体に回転させる回転伝達機構とを具備するキャリアであって、上記可動体の上面と上記キャリア本体の下面との間隙を用いて、気密な第1の圧力室を形成し、上記ワークピースの上面外周部を押圧可能なワークピース外周押圧部を上記可動体の下面部に突設し、上記ワークピース外周押圧部の内側に形成された空間部を可撓性シートで下側から気密に覆うことにより第2の圧力室を形成した、ことを特徴とするキャリア。

Fターム (6件)：

3C058AA07 ,  3C058AA12 ,  3C058AB04 ,  3C058CB01 ,  3C058DA06 ,  3C058DA17