特許

J-GLOBAL ID：200903035110657610

光学多層膜

発明者： 内田 真司
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-245314
公開番号（公開出願番号）：特開平8-110406
出願日： 1994年10月11日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：

【要約】【目的】 従来、光学結晶で用いられていたものを、薄膜で実現することにより、光学部品の小型化、軽量化、低コスト化を実現する。【構成】 ニオブ酸リチウムの基板11上に、高屈折率の異方性薄膜としてTa2O5膜12を形成する。更にTa2O5膜の上に、図1に示したように低屈折率の薄膜たとえばMgF2膜13を形成する。

請求項（抜粋）：

基板上に少なくとも2種類の物質からなる多層薄膜を備え、少なくとも一層以上の薄膜層が光学的に異方性の薄膜である光学多層膜。