特許
J-GLOBAL ID：200903035125907095
真空排気装置及びその起動方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木戸 一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-200750
公開番号（公開出願番号）：特開平5-044643
出願日： 1991年08月09日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：
【要約】【目的】 真空排気系の簡略化が図れるとともに、油汚染を防止した起動,再起動を行うことができ、真空排気系の全自動運転も可能な真空排気装置及びその起動方法を提供する。【構成】 真空容器11内を高真空に排気するターボ分子ポンプ13と、該ターボ分子ポンプ13に直列に設けられた油回転ポンプ17と、前記真空容器11内の真空度を測定する容器真空計14と、前記ターボ分子ポンプ13入口部の真空度を測定する排気真空計19とを備えるとともに、前記容器真空計14及び排気真空計19の測定値に応じて各ポンプ及び各弁を制御する制御手段20を設けた。
請求項（抜粋）：
真空容器内を高真空に排気するターボ分子ポンプと、該ターボ分子ポンプに直列に設けられた油回転ポンプと、前記真空容器内の真空度を測定する容器真空計と、前記ターボ分子ポンプ入口部の真空度を測定する排気真空計とを備えるとともに、前記容器真空計及び排気真空計の測定値に応じて前記ターボ分子ポンプの作動と該ターボ分子ポンプの入口弁の開閉を制御する制御手段を設けたことを特徴とする真空排気装置。
IPC (3件)：
F04B 37/16
, F04D 19/04
, F04F 9/08
