特許
J-GLOBAL ID:200903035131228108

水銀ショートアークランプ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 富村 潔
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-254451
公開番号(公開出願番号):特開平8-096751
出願日: 1995年09月07日
公開日(公表日): 1996年04月12日
要約:
【要約】【課題】 放電アークで発生した有効波長365nmの放射光が放電管の外で殆んど弱められずに得られ、しかも365nmより小さい波長を持つ不所望な短波紫外線が放電管でできるだけ完全に抑制される水銀ショートアークランプを提供する。【解決手段】 水銀ショートアークランプは、365nm波長の放射光の投影光源として、365nm以下の不所望な短波紫外線を抑制するために多層干渉反射フィルタをその外面に備え、かつこの多層干渉反射フィルタと組み合わせられて放電管の内面に吸収性二酸化チタン膜を有し、反射フィルタ上に二酸化チタンと二酸化シリコンとの混合膜を持つか又は二酸化チタン及び必要に応じて二酸化すずをドープされた石英ガラスから製造された放電管を有する。
請求項(抜粋):
2つの電極と水銀及びキセノンから成る充填物とを含む石英ガラス製放電管を備えた水銀ショートアークランプにおいて、放電管はランプ点灯の際に少なくとも400°Cの表面温度を有し、波長365nmの水銀線の放射光及びそれより大きい波長の放射光を実質上弱めずに通過させかつ365nmより小さい波長を持つ放射光が放電管から出射するのをほぼ完全に阻止する手段を備えることを特徴とする水銀ショートアークランプ。
IPC (4件):
H01J 61/40 ,  H01J 61/20 ,  H01J 61/30 ,  H01J 61/86
引用特許:
審査官引用 (9件)
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