特許
J-GLOBAL ID:200903035141947862
磁気センサ
発明者:
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出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
渡辺 三彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-305483
公開番号(公開出願番号):特開2000-131005
出願日: 1998年10月27日
公開日(公表日): 2000年05月12日
要約:
【要約】【課題】 半導体ホール素子を用いた磁気センサの温度補償の問題を解決することにより、アナログ的な距離または変位の計測を高精度で行える磁気センサを提供すること。【解決手段】 基板16と、基板の表面に配置された半導体ホール素子17と、基板の裏面側に配置され半導体ホール素子を貫通する磁界を発生させる磁石19と、半導体ホール素子に定電流を供給する定電流回路22と、基板上に配置される温度センサ18と、この温度センサで検出される温度に応じて半導体ホール素子のゼロ点の温度特性を補償するゼロ点温度補償回路23とを備え、半導体ホール素子の感度温度係数と、該半導体ホール素子の入力抵抗の抵抗温度係数とが、互いに正負の符号が逆で絶対値が略等しくなるように設定されたもの。
請求項(抜粋):
磁性体からなる対象物との間の距離を計測する磁気センサであって、基板と、基板の表面に配置された半導体ホール素子と、基板の裏面側に配置され上記半導体ホール素子を貫通する磁界を発生させる磁石と、上記半導体ホール素子に定電流を供給する定電流回路と、上記基板上に配置される温度センサと、この温度センサで検出される温度に応じて上記半導体ホール素子のゼロ点の温度特性を補償するゼロ点温度補償回路とを備え、上記半導体ホール素子の感度温度係数と、該半導体ホール素子の入力抵抗の抵抗温度係数とが、互いに正負の符号が逆で絶対値が略等しくなるように設定されていることを特徴とする磁気センサ。
IPC (4件):
G01B 7/00
, G01R 33/02
, G01R 33/07
, H01L 43/06
FI (5件):
G01B 7/00 J
, G01R 33/02 X
, H01L 43/06 S
, H01L 43/06 A
, G01R 33/06 H
Fターム (23件):
2F063AA02
, 2F063BA21
, 2F063BD15
, 2F063CB01
, 2F063CB05
, 2F063GA53
, 2F063GA55
, 2F063JA09
, 2F063LA11
, 2F063LA22
, 2F063LA30
, 2G017AA02
, 2G017AA05
, 2G017AA06
, 2G017AB05
, 2G017AB07
, 2G017AB08
, 2G017AC01
, 2G017AC04
, 2G017AC06
, 2G017AC07
, 2G017AD53
, 2G017AD59
引用特許:
審査官引用 (3件)
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非接触式変位検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-209305
出願人:松下電器産業株式会社
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特開昭58-070176
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特開昭58-070176
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