特許
J-GLOBAL ID:200903035155671550

表面検査装置及び方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小林 和憲
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-351042
公開番号(公開出願番号):特開2001-165864
出願日: 1999年12月10日
公開日(公表日): 2001年06月22日
要約:
【要約】【課題】 擦り傷部を透過した光の拡散方向に影響されることなく、確実に擦り傷を検出できる表面検査装置を提供する。【解決手段】 ラインセンサカメラ17は、帯状の透明なシート10の幅方向に延びたライン状の被検査部10aを撮像する。光源25,26及び棒状光源16は、ラインセンサカメラ17の撮像範囲外に配置され、被検査部10aをシート10の裏面側から照明する。光源25,26は、被検査部10aをシート10の幅方向から斜めに照明する。棒状光源16は、被検査部10aをシート10の走行方向下流側から斜めに照明する。ラインセンサカメラ17による画像は、光源25,26からの照明光によって、シート10の長手方向に対して略直交する面内に透過光を強く拡散させる擦り傷部の明度が明るくなり、また棒状光源16からの照明光によって、シート10の走行方向の広い角度範囲内に透過光を強く拡散させる擦り傷部の明度が明るくなる。
請求項(抜粋):
透明なシートの被検査部を裏面側から照明する照明手段と、前記シートの表面に正対して前記被検査部を表面側から撮像する撮像手段とを備え、この撮像手段から得られた画像信号に基づいて、シートの表面又は裏面に存在する長手方向が一定な直線状の擦り傷の有無を検査する表面検査装置において、前記照明手段は、擦り傷の長手方向に対して略直交し前記撮像手段を含む面内であって、かつ撮像手段の撮像範囲外に配置され、被検査部を斜め方向から照明することを特徴とする表面検査装置。
Fターム (8件):
2G051AA41 ,  2G051AB02 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051BB02 ,  2G051CA03 ,  2G051CB05
引用特許:
審査官引用 (3件)

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