特許

J-GLOBAL ID：200903035156515560

超音波洗浄装置

発明者： 久保 和樹
出願人/特許権者： 株式会社カイジョー
代理人 (1件)： 羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-306993
公開番号（公開出願番号）：特開平10-128255
出願日： 1996年11月01日
公開日（公表日）： 1998年05月19日
要約：

【要約】【課題】 石英ガラス等、機械的強度が弱い素材を用いながらも薄くかつ大型の槽の実用化を達成し、以て、極く高い周波数帯域の駆動周波数の利用と、大きな被洗浄物の洗浄を可能とした超音波洗浄装置を提供すること。【解決手段】 洗浄用流体5及び媒体流体6によって内槽1に内外から加わる圧力が互いに等しくなるようにこれら流体の量を調節することとし、以て、上記の効果を得る。

請求項（抜粋）：

洗浄用流体を貯留する内槽と、前記内槽を媒体流体に浸った状態で収容する外槽と、前記外槽に外側から約500KHz以上の超音波振動を付与する超音波励振手段とを備えた超音波洗浄装置であって、前記洗浄用流体及び前記媒体流体により前記内槽に内外から加わる圧力が互いに略等しくなるように該洗浄用流体及び媒体流体の量を調節しつつ供給・排出する供給・排出手段を有することを特徴とする超音波洗浄装置。

IPC (3件)：

B08B 3/12 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B08B 3/12 A ,  B08B 3/12 B ,  H01L 21/304 341 M ,  H01L 21/304 341 T