特許

J-GLOBAL ID：200903035166387497

検査装置

発明者： 市川 巌 ,  正木 茂生
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-068114
公開番号（公開出願番号）：特開2003-269930
出願日： 2002年03月13日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：

【要約】【課題】 本発明は照射手段がレーザ光を検査体に照射するタイプの検査装置に関するもので、様々な種類の部品に対して、高速で且つ精度の良い検査を行うことを目的とするものである。【解決手段】 この目的を達成するために本発明は、レーザ光の走査軌跡を可変する平板ガラス5,6を照射手段3と部品12,12a〜12eとの間に設け、予め入力されている検査情報19に基づき、平板ガラス5,6の相対角度を部品12,12a〜12eの大きさや種別毎に都度可変し、その後同期回転することにより、基板11上に実装された部品12,12a〜12eの大きさや形状に適した走査を実現するものである。

請求項（抜粋）：

基板上に実装された検査体にレーザ光を照射する照射手段と、この検査体で反射したレーザ光を受光する受光手段と、この受光手段によって受光したレーザ光により前記検査体の外観情報を検出する検出手段とを備え、前記レーザ光の走査範囲を可変する可変手段を照射手段と検査体との間に設け、この可変手段はレーザ光の屈折体を複数対向させた構成とし、対向する屈折体をその相対角度を保った状態で同期して同方向あるいは逆方向に回動させ、予め入力された検査体の種別と位置と大きさと向き及びその検査規格からなる検査情報に基づいて決められた走査範囲を走査する検査装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/956 ,  H05K 13/08

FI (3件)：

G01N 21/956 B ,  H05K 13/08 U ,  G01B 11/24 A

Fターム (17件)：

2F065AA03 ,  2F065AA12 ,  2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065BB01 ,  2F065CC01 ,  2F065FF66 ,  2F065FF67 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065MM16 ,  2G051AA65 ,  2G051AB14 ,  2G051AC21 ,  2G051BA10 ,  2G051BB20 ,  2G051BC05

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 特開平3-183906
  
• 特開昭61-275815
  
• 検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-364221   出願人：松下電器産業株式会社
• 特許第1106995号
  
• 実装部品の検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-250218   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開平4-147043