特許
J-GLOBAL ID：200903035171077919
レチクル保管箱の洗浄時期判定方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-251527
公開番号（公開出願番号）：特開平6-104157
出願日： 1992年09月21日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【目的】 半導体製造において使用されるレチクル保管箱の洗浄時期を、レチクル保管箱洗浄後の経過時間と搬送の回数により自動的に作業者へ通知する。【構成】 レチクル保管箱の洗浄後の移動回数とレチクル洗浄日時とが記録されている磁気カードを読み(401)、移動回数と洗浄後の経過時間が規定値内であるか否かを照合し(402,403)、規定値外であれば作業者へレチクル保管箱の洗浄を指示し(407)、規定値内であれば、ホストへ搬送先を連絡(404)し、磁気カードの再入力を作業者へ指示し(405)、搬送回数を1増加させたデータを磁気カードへ書き込む(406)ステップで構成され、自動的にレチクル保管箱の洗浄指示を行う。
請求項（抜粋）：
レチクル保管箱の前回の洗浄からの搬送回数を記録しレチクル保管箱の前回の洗浄からの経過時間を記録する第一のステップと、前記レチクル保管箱の洗浄後の搬送回数が所定搬送回数内であるか否か判定する第二のステップと、前記レチクル保管箱の洗浄後の経過時間が所定経過時間内であるか否か判定する第三のステップと、前記レチクル保管箱の洗浄後の搬送回数及び経過時間が共に所定搬送回数所定経過時間内であるときにレチクル所在管理装置へ搬送の報告を行う第四のステップと、前記レチクル保管箱の洗浄後の搬送回数を計数しているデータを一回増加させる第五のステップと、前記レチクル保管箱の洗浄後の搬送回数または経過時間のうちのどちらか一方が所定搬送回数または所定経過時間を経過しているときにレチクル保管箱の洗浄が必要であることを知らせる第六のステップとを含むことを特徴とするレチクル保管箱の洗浄時期判定方法。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B08B 13/00
, G03F 1/14
, H01L 21/304 341
H01L 21/30 301 J
, H01L 21/30 301 P
