特許

J-GLOBAL ID：200903035175966513

半導体装置及びその製造方法

発明者： 横山 聡
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 山口 邦夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-311637
公開番号（公開出願番号）：特開2003-124229
出願日： 2001年10月09日
公開日（公表日）： 2003年04月25日
要約：

【要約】【課題】 不純物拡散層の抵抗値の増大を抑制したまま、当該不純物拡散層の空乏層をゲート電極下で伸長できるようにする。【解決手段】素子分離用のフィールド酸化膜6によって画定されたPウェル層3にゲート酸化膜17を介在して設けられたゲート電極12と、このゲート電極12の両側のPウェル層3に設けられたN型のソース領域18とドレイン領域19を備え、少なくともドレイン領域19は、ゲート電極12とオーバラップする位置からフィールド酸化膜6に至る位置に設けられると共に、多重イオン注入によって不純物拡散濃度が調整され、ゲート電極12下において不純物拡散濃度が最も低く当該ゲート電極12から離れるに従ってこの不純物拡散濃度を濃く分布して成るものである。従来方式と比べて、抵抗値がほぼ同じで、かつ、ゲート電極12下における空乏層が伸張されたN型のドレイン領域19をPウェル層3に備えることができる。

請求項（抜粋）：

素子分離用の絶縁膜によって画定された一導電型の半導体層に絶縁膜を介在して設けられたゲート電極と、前記ゲート電極の両側の前記半導体層に設けられた一対の反対導電型の不純物拡散層とを備え、少なくとも前記不純物拡散層の一方は、前記ゲート電極とオーバラップする位置から前記素子分離用の絶縁膜に至る位置に設けられると共に、多重イオン注入によって不純物拡散濃度が調整され、前記ゲート電極下において不純物拡散濃度が最も低く当該ゲート電極から離れるに従って前記不純物拡散濃度を濃く分布して成ることを特徴とする半導体装置。

IPC (12件)：

H01L 21/336 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 21/761 ,  H01L 21/768 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 21/8249 ,  H01L 27/06 ,  H01L 27/08 331 ,  H01L 27/092 ,  H01L 29/43 ,  H01L 29/78

FI (10件)：

H01L 21/28 301 D ,  H01L 27/08 331 C ,  H01L 29/78 301 L ,  H01L 29/78 301 S ,  H01L 27/08 321 E ,  H01L 21/265 F ,  H01L 21/90 C ,  H01L 21/76 J ,  H01L 27/06 321 A ,  H01L 29/62 G

Fターム (99件)：

4M104AA01 ,  4M104BB01 ,  4M104BB30 ,  4M104BB40 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD19 ,  4M104DD26 ,  4M104DD43 ,  4M104FF14 ,  4M104FF18 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  5F032AA13 ,  5F032AB03 ,  5F032CA01 ,  5F032CA03 ,  5F032CA17 ,  5F032CA18 ,  5F032CA20 ,  5F032CA24 ,  5F032CA25 ,  5F032DA02 ,  5F032DA12 ,  5F032DA43 ,  5F032DA53 ,  5F033HH04 ,  5F033HH09 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ33 ,  5F033KK01 ,  5F033LL04 ,  5F033MM07 ,  5F033NN07 ,  5F033PP06 ,  5F033QQ31 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ58 ,  5F033QQ65 ,  5F033RR15 ,  5F048AA05 ,  5F048AA09 ,  5F048AC01 ,  5F048AC03 ,  5F048AC05 ,  5F048BA02 ,  5F048BA12 ,  5F048BB06 ,  5F048BB08 ,  5F048BB12 ,  5F048BC05 ,  5F048BC06 ,  5F048BC18 ,  5F048BD04 ,  5F048BD09 ,  5F048BF01 ,  5F048BF07 ,  5F048BF16 ,  5F048BG12 ,  5F048DA25 ,  5F140AA02 ,  5F140AA23 ,  5F140AB01 ,  5F140AB03 ,  5F140AC02 ,  5F140BA01 ,  5F140BA16 ,  5F140BC06 ,  5F140BE07 ,  5F140BF04 ,  5F140BF11 ,  5F140BF18 ,  5F140BG02 ,  5F140BG08 ,  5F140BG12 ,  5F140BG28 ,  5F140BG38 ,  5F140BH13 ,  5F140BH15 ,  5F140BH49 ,  5F140BJ10 ,  5F140BJ11 ,  5F140BJ17 ,  5F140BJ27 ,  5F140BK02 ,  5F140BK05 ,  5F140BK13 ,  5F140BK21 ,  5F140BK26 ,  5F140BK29 ,  5F140BK30 ,  5F140BK39 ,  5F140CA03 ,  5F140CB01 ,  5F140CB08 ,  5F140CC07 ,  5F140CC20 ,  5F140CD02