特許

J-GLOBAL ID：200903035176854344

位置決め方法及びその装置

発明者： 山下 聖治
出願人/特許権者： 新光電気工業株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-332280
公開番号（公開出願番号）：特開2004-160627
出願日： 2002年11月15日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：

【課題】本発明は処理部品を位置決め方法に関し、処理部品を安定に位置決めすることを課題とする。【解決手段】スライド可能に支持されて重なっている下板81及び上板90と、下板81及び上板90をY1-Y2方向にスライドさせる駆動ユニット102、103とを有する。下板81及び上板90には、正方形の開口窓82,91がマトリクス状に並んで形成してある。開口窓82と開口窓91とが重なって、開口部85が形成してある。開口部85がキャップ本体52を囲んだ状態で、下板81及び上板90がスライドされて、開口窓82の縁と開口窓91の縁とがキャップ本体52を挟み込んで位置決めする。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

第1、第2の開口窓が重なって開口部が形成してあり、 該開口部がトレイ上の処理部品を囲んだ状態から、第1、第2の開口窓が相対的にずれて上記開口部が小さくなるように形状が変わり、第1の開口窓の縁と第2の開口窓の縁とが処理部品を挟み込んで該処理部品を位置決めする位置決め方法。

IPC (2件)：

B23P19/00 ,  H01L21/50

FI (3件)：

B23P19/00 301D ,  B23P19/00 301G ,  H01L21/50 C

Fターム (3件)：

3C030AA12 ,  3C030AA17 ,  3C030AA18