特許
J-GLOBAL ID：200903035177296213
表面弾性波素子の製造方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-249746
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090861
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】 ダイヤモンドを用いた表面弾性波素子について大量生産を容易にする方法を提供する。【構成】 少なくとも表面にダイヤモンド層を有する複数の単位素子材21をダイヤモンド面を上にして平坦な基板20上に接着する工程と、基板20上に接着された複数の単位素子材21についてダイヤモンド面を研磨する工程と、研磨されたダイヤモンド面上に圧電体層および電極を形成する工程とを備える方法。
請求項（抜粋）：
少なくとも表面にダイヤモンド層を有する複数の単位素子材をダイヤモンド面を上にして平坦な基板上に接着する工程と、前記基板上に接着された複数の単位素子材について前記ダイヤモンド面を研磨する工程と、研磨された前記ダイヤモンド面上に、圧電体層および電極を形成する工程とを備える、表面弾性波素子の製造方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
