特許

J-GLOBAL ID：200903035178424746

化学機械研磨用スラリー廃液の処理方法

発明者： 服部 雅幸 ,  川橋 信夫
出願人/特許権者： JSR株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-242585
公開番号（公開出願番号）：特開2004-082225
出願日： 2002年08月22日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：

【課題】化学機械研磨用スラリーの廃液を、小規模設備においても簡便、低コストで処理できる方法を提供すること。【解決手段】上記方法は、砥粒を含有する化学機械研磨用スラリー廃液の処理方法であって、該廃液にガラス転移温度が廃液を処理する温度よりも低い有機粒子を添加することを特徴とする、化学機械研磨用スラリー廃液の処理方法である。【選択図】 なし。

請求項（抜粋）：

砥粒を含有する化学機械研磨用スラリー廃液の処理方法であって、該廃液にガラス転移温度が廃液を処理する温度よりも低い有機粒子を添加することを特徴とする、化学機械研磨用スラリー廃液の処理方法。

IPC (4件)：

B24B57/02 ,  B01D21/01 ,  C02F11/14 ,  C09K3/14

FI (6件)：

B24B57/02 ,  B01D21/01 101A ,  B01D21/01 110 ,  C02F11/14 D ,  C02F11/14 E ,  C09K3/14 550C

Fターム (44件)：

3C047FF08 ,  3C047GG17 ,  4D015BA08 ,  4D015BA19 ,  4D015BB05 ,  4D015BB12 ,  4D015BB14 ,  4D015BB17 ,  4D015CA20 ,  4D015DA01 ,  4D015DA02 ,  4D015DA04 ,  4D015DA05 ,  4D015DA13 ,  4D015DA15 ,  4D015DA17 ,  4D015DA28 ,  4D015DB02 ,  4D015DB12 ,  4D015DB14 ,  4D015DB18 ,  4D015DC04 ,  4D015EA04 ,  4D015EA32 ,  4D059AA30 ,  4D059BE31 ,  4D059BE55 ,  4D059BE56 ,  4D059BE60 ,  4D059DA15 ,  4D059DA16 ,  4D059DA17 ,  4D059DA21 ,  4D059DA22 ,  4D059DA23 ,  4D059DA24 ,  4D059DA25 ,  4D059DB14 ,  4D059DB21 ,  4D059DB24 ,  4D059DB25 ,  4D059DB26 ,  4D059EA05 ,  4D059EA20