高熱伝導性を有し、真空中で使用可能で、変形容易な静電チャック

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-066473
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260856
出願日： 2000年03月10日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】真空中で使用出来るチャックで、保持する部材とチャック間の入ったゴミの影響、加熱によるチャックからの外れを防止できるチャックを提供する。【解決手段】保持面が誘電体層124、電極の金属層122、中空形成層からなるメンブレン108であり、中空部に冷却ガスを入れ、保持する部材の熱を支持部材110に逃がす。支持部材から外部には冷却液を循環させて逃がす。

請求項（抜粋）：

真空中で使用可能、変形可能、高熱伝導性を有する静電チャックであって、支持部材とメンブレンを有し、該メンブレンは誘電体層からなる第1の層、導電性物質からなる第2の層、基板材からなる第3の層を有し、第3の層の表面の周辺部には縁枠(rim)が有り、また、第3の層の表面には複数の梁(strut)が有り、メンブレンは縁枠と梁によって支持部材に取り付けら、これによってメンブレンと支持部材表面の間に中空領域がされ、支持部材には複数のガス配管穴が有り、ガス配管穴はメンブレンと支持部材表面の間の中空領域と冷却ガス供給源を結んでいる、ことを特徴とする静電チャック。

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