特許
J-GLOBAL ID：200903035188702213
光学的測長装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
岩佐 義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-009316
公開番号（公開出願番号）：特開平5-341043
出願日： 1992年01月22日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】 非接触による静止速度から正逆の走行速度まで全領域で、正確で精度の高い移動量を実時間で検出し測長する光学的測長装置を提供する。【構成】 分岐した2つの光束を音響光学素子AOM1,2により異なった周波数にシフトし、ハーフミラーHM1,2により基準光と測定光に分離する。測定光は移動する長尺物12の表面に交叉するように照射し、散乱光を検出する。基準光および散乱光を光電変換して、それぞれ基準信号と測定信号を形成し、基準信号と測定信号の周波数差の1周期が発生する毎に、その周波数の高低に応じて、入力した信号のいずれの周波数が高いかを判別して、光学定数により規定される移動量に相当するパルスを発生することにより長尺物の移動量を検出する。
請求項（抜粋）：
レーザー光源から出射されたレーザー光をビームスプリッタにより、2つの光束に分岐し、移動する長尺物の表面に垂直に照射するレーザー装置において、前記分岐された2つの光束をそれぞれの音響光学素子により異なった周波数にシフトし、各々のハーフミラーにより、それぞれ基準光と測定光とに分離投射する手段と、前記基準光の2つの周波数を持つ光束を、それぞれのハーフミラーを直角に反射し、重ね合わせて光電変換器により基準信号に変換し、得られた基準信号を信号処理回路に入力する手段と、前記測定光の2つの周波数を持つ光束を、各々のハーフミラーを直進し収束レンズを経て、移動する長尺物の表面に2つの光束の2等分線が直交するように照射し、前記長尺物の表面の正逆いずれの方向の移動に対しても、その移動速度ごとに、その移動速度に相当する周波数シフトを受けた、前記長尺物の表面より反射される散乱光を光電変換器により測定信号に変換し、得られた測定信号を信号処理回路に入力する手段と、前記信号処理回路に入力された基準信号と測定信号の周波数差の1周期が発生する毎に、その周波数の高低に応じて、入力した信号のいずれの周波数が高いかを判別して、光学定数により規定される移動量に相当するパルスを発生することにより移動量を検出する手段と、測定信号の信号レベルが一定の基準値に満たない場合は、欠落状態と見做し、入力周波数に追従しているPLLにホールドをかけ、補間回路により信号欠落をその直前の周波数で代行することにより信号の欠落を補正する手段とを備え、非接触による前記長尺物が静止状態、正方向移動状態、逆方向移動状態にかかわらず、その移動量に比例したパルスを出力することにより、正確で精度の高い移動量を実時間で測長する光学的測長装置。
IPC (2件)：
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