特許
J-GLOBAL ID：200903035190539524
塗布装置及び加工方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-129051
公開番号（公開出願番号）：特開平6-335653
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：
【要約】【目的】 塗布巾が広い場合、又は1層の単位巾当りの流量が多い場合に、塗布量分布を均一にできる塗布ユニットを提供すること、又、上記塗布量分布を与える塗布ユニットの加工方法を提供することにある。【構成】 塗布液を側面から供給する塗布装置において、塗布液を整流するスリットの塗布液流下方向の長さを、供給側から反供給側に向かって直線状又は曲線状にテーパを持たせて狭くする。又曲線状のテーパを持つ塗布ユニットの加工に当たっては、往復運動型加工装置の架台上でブロック素材を、スリットの面内、又はスリットの面に垂直な面内で湾曲させて固定し加工する。
請求項（抜粋）：
塗布液を幅方向に広げるマニホールドと、マニホールドの全幅にわたって塗布液を整流しつつ流出させるスリットとを備え、スリットから流出した塗布液を連続走行するウエブに塗布する塗布装置において、塗布液の供給口をマニホールドの側面に配置し、スリットの塗布液流出方向の長さを、塗布液供給側から反供給側に向かって直線状又は曲線状にテーパを持たせて短くしたことを特徴とする塗布装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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