荷電粒子ビーム露光方法及び装置並びに成形絞り及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松本眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-256397
公開番号（公開出願番号）：特開平9-102449
出願日： 1995年10月03日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：

【要約】【課題】高エネルギーの荷電粒子ビームを使用できるようにし、転写像のシャープネスを充分にし、強度が充分な成形絞りを容易に製造できるようにする。【解決手段】成形絞り30は、互いに同一形状の絞り片31〜34が組み合わされてホルダにボルトで固定されている。絞り片は、長方形板の長手方向の辺を介して隣合う2面の一部が面取りされてエッジ312、322、332及び342が残されている。絞り片31と32とがエッジを対向させて互いに平行に配置され、絞り片33と34とがエッジを対向させて絞り片31及び32と直角に配置され、絞り片31及び32と絞り片33及び34とが互いにエッジを接近させて重ね合わされて、絞り片31〜34のエッジで囲まれた矩形アパーチャ30aが形成されている。

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビームの横断面を矩形に成形するための成形絞りが配置された荷電粒子ビーム露光装置において、該成形絞りは、板の直線端部の隣合う2面の一部が面取りされて幅eのエッジが残された第1〜4絞り片と、該第1〜4絞り片が固定されたホルダとを有し、該第1絞り片と該第2絞り片とが該エッジを対向させて互いに平行に配置され、該第3絞り片と該第4絞り片とが該エッジを対向させて該第1絞り片及び該第2絞り片と直角に配置され、該第1絞り片及び該第2絞り片と該第2絞り片及び該第3絞り片とが互いに該エッジを接近させて重ね合わされて、該第1〜4絞り片の該エッジで囲まれた荷電粒子ビーム成形用矩形アパーチャが形成されていることを特徴とする荷電粒子ビーム露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 504 , H01J 37/07 , H01J 37/305

FI (4件)：

H01L 21/30 541 B , G03F 7/20 504 , H01J 37/07 , H01J 37/305 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平1-102928
特開昭63-307651
特開昭58-082451

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