特許

J-GLOBAL ID：200903035193063830

圧力センサ

発明者： 小山 剛宏 ,  原田 茂人 ,  島田 周治 ,  関 秀文
出願人/特許権者： 長野計器株式会社
代理人 (1件)： 木下 實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-169357
公開番号（公開出願番号）：特開平10-019704
出願日： 1996年06月28日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：

【要約】【課題】性能を損なうことなく耐蝕性が向上される圧力センサの提供。【解決手段】内部に設けられた受圧室19に導入された測定流体の圧力により弾性変形するダイアフラム20を、測定流体の圧力を主に受ける弾性体からなる本体層21と、測定流体に接するとともに主にフッ素樹脂からなる表面層22との複合体とし、かつ、表面層22の厚さを本体層21の厚さの約2倍とする。フッ素樹脂からなる表面層22を設けたので、耐蝕性が著しく向上する。また、本体層21を弾性率の著しく大きいセラミック製とし、表面層22を弾性率の著しく小さいフッ素樹脂とすることにより、表面層22の厚さを本体層21の厚さの約2倍としても、圧力センサ10の性能が損なわれない。

請求項（抜粋）：

内部に設けられた受圧室に導入された測定流体の圧力により弾性変形するダイアフラムを有する圧力センサであって、前記ダイアフラムは、前記測定流体の圧力を主に受ける弾性体からなる本体層と、前記測定流体に接するとともに主にフッ素樹脂からなる表面層とを含んで構成された複合体とされ、かつ、前記表面層の厚さが前記本体層の厚さの約2倍となっていることを特徴とする圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 9/12 ,  C23F 11/00 ,  G01L 19/00 101

FI (3件)：

G01L 9/12 ,  C23F 11/00 B ,  G01L 19/00 101