ポジ型感光性樹脂前駆体組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-314745
公開番号（公開出願番号）：特開2000-143980
出願日： 1998年11月05日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】アルカリ現像可能なポジ型の感光性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)一般式(2)で表されるキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価〜8価の有機基を示し、R2は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価〜6価の有機基を示し、R3は水素、または炭素数1〜20までの有機基を示す。nは10〜100000までの整数、mは0〜2までの整数、p、qは0〜4までの整数を示す。p、qは同時に0にならない。)【化2】(R4、R5は炭素数1〜10より選ばれる1価の有機基を示す。b、cは0〜2までの整数を示す。b、cは同時に0にならない。d、eは0〜2までの整数を示す。)

請求項（抜粋）：

(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)一般式(2)で表されるキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価〜8価の有機基を示し、R2は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価〜6価の有機基を示し、R3は水素、または炭素数1〜20までの有機基を示す。nは10〜100000までの整数、mは0〜2までの整数、p、qは0〜4までの整数を示す。p、qは同時に0にならない。)【化2】(R4、R5は炭素数1〜10より選ばれる1価の有機基を示す。b、cは0〜2までの整数を示す。b、cは同時に0にならない。d、eは0〜2までの整数を示す。)

IPC (6件)：

C08L 79/08 , C08G 73/06 , C09D 5/00 , G03F 7/022 601 , G03F 7/037 501 , H01L 21/312

FI (6件)：

C08L 79/08 A , C08G 73/06 , C09D 5/00 C , G03F 7/022 601 , G03F 7/037 501 , H01L 21/312 D

Fターム (53件)：

2H025AA02 , 2H025AA06 , 2H025AA10 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025EA10 , 2H025FA01 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J002CM041 , 4J002EQ036 , 4J002ER006 , 4J002GP03 , 4J038DH001 , 4J038GA03 , 4J038GA06 , 4J038JB18 , 4J038NA18 , 4J038PB09 , 4J043PA02 , 4J043PA05 , 4J043PC065 , 4J043RA06 , 4J043SA06 , 4J043SB01 , 4J043SB02 , 4J043TA13 , 4J043TB01 , 4J043TB02 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA262 , 4J043UB011 , 4J043UB061 , 4J043UB401 , 4J043VA021 , 4J043VA041 , 4J043VA061 , 4J043YA06 , 4J043ZB22 , 5F058AC02 , 5F058AC07 , 5F058AF04 , 5F058AG01 , 5F058AH01 , 5F058AH02 , 5F058AH03

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