特許
J-GLOBAL ID：200903035202199961
フォトレジスト塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-008272
公開番号（公開出願番号）：特開平8-196968
出願日： 1995年01月23日
公開日（公表日）： 1996年08月06日
要約：
【要約】【目的】 ガラス基板9におけるフォトレジスト塗布面の裏側に付着するフォトレジストを略皆無にするようにしたフォトレジスト塗布装置を提供する。【構成】 ガラス基板9を順次搬送させる基板搬送部2と、抑えローラー4及びフォトレジスト塗布用ローラー3からなるフォトレジスト塗布部1からなり、抑えローラー4とフォトレジスト塗布用ローラー3間をガラス基板9が搬送通過する際、フォトレジスト塗布用ローラー3によりフォトレジストを巻き込むことによりガラス基板9の一面にフォトレジストを塗布させるフォトレジスト塗布装置において、抑えローラー4の表面にローラーの幅方向にわたって一条の溝10を設け、抑えローラー4とフォトレジスト塗布用ローラー3間をガラス基板9が搬送通過する際、ガラス基板9の後端部と一条の溝10の到来時刻が略一致するように、ガラス基板9の搬送タイミングを定めるようにした。
請求項（抜粋）：
ガラス基板を順次搬送させる基板搬送部と、抑えローラー及びフォトレジスト塗布用ローラーとからなるフォトレジスト塗布部とからなり、前記抑えローラーと前記フォトレジスト塗布用ローラーとの間を前記ガラス基板が搬送通過する際に、前記フォトレジスト塗布用ローラーによってフォトレジストを巻き込むことにより前記ガラス基板の一面にフォトレジストを塗布させるフォトレジスト塗布装置において、前記抑えローラーの表面にローラーの幅方向にわたって一条の溝を設け、前記抑えローラーと前記フォトレジスト塗布用ローラーとの間を前記ガラス基板が搬送通過する際に、前記ガラス基板の後端部と前記一条の溝の到来時刻が略一致するように、前記ガラス基板の搬送タイミングを定めるようにしたことを特徴とするフォトレジスト塗布装置。
IPC (4件)：
B05C 1/08
, G02B 5/20 101
, G03F 7/16 501
, B05D 1/28
