特許

J-GLOBAL ID：200903035203664617

照明装置及び露光装置

発明者： 押野 哲也
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-025565
公開番号（公開出願番号）：特開平7-235470
出願日： 1994年02月23日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 従来よりも作製が容易であり、しかもX線反射率が大きく低下することがない照明装置、及び該照明装置を備えた露光装置を提供する。【構成】 平行光束を供給する光源部1と、該光源部1からの平行光束により複数の光源像を形成する反射型のオプティカルインテグレータ2とを有し集光光学系のメリジオナル方向に臨界照明をなす反射面と、サジタル方向にケーラー照明をなす反射面を設けてあり、前記光源像または光源からの光束を平行光束に変換して前記被照明物体上を円弧状に照明する特殊反射鏡3を有し、放物線の頂点Oから該放物線の対称軸Ax0 に沿って所定の距離だけ隔てた位置を該対称軸Ax0 に対して垂直に通る基準軸Ax1 を中心に回転させた放物トーリック形状の回転体の一部より構成されてなることを特徴とする照明装置。

請求項（抜粋）：

少なくとも、所定の大きさの光源像または光源を形成する光源手段と、該光源手段からの光束を集光して被照明物体を照明する集光光学系とからなる照明装置に於いて、前記光源手段は、平行光束を供給する光源部と、該光源部からの平行光束により複数の光源像を形成する反射型のオプティカルインテグレータとを有し、該反射型のオプティカルインテグレータには、前記集光光学系のメリジオナル方向に臨界照明をなす反射面と、サジタル方向にケーラー照明をなす反射面を設けてあり、前記集光光学系は、前記光源像または光源からの光束を平行光束に変換して前記被照明物体上を円弧状に照明する特殊反射鏡を有し、該特殊反射鏡は、放物線の頂点から該放物線の対称軸に沿って所定の距離だけ隔てた位置を該対称軸に対して垂直に通る基準軸を中心に回転させた放物トーリック形状の回転体の一部より構成されてなることを特徴とする照明装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 ,  G02B 5/10 ,  G03B 27/54 ,  G03F 7/20 521 ,  G21K 1/06 ,  G21K 5/02

FI (2件)：

H01L 21/30 531 A ,  H01L 21/30 531 S

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 特開昭63-006540
  
• 特開昭54-048174
  
• 特開平1-214119
  
• 特開平4-307923
  
• X線露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-264639   出願人：株式会社東芝