特許
J-GLOBAL ID：200903035211390534
多層反射防止膜、光学部材、及び縮小投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2000001950
公開番号（公開出願番号）：WO2000-058761
出願日： 2000年03月29日
公開日（公表日）： 2000年10月05日
要約：
【要約】少なくとも1つの低屈折率層と少なくとも1つの高屈折率層とが交互に積層された積層体を備え、該積層体における最外層の少なくとも1つが低屈折率層であり、該低屈折率層の側から入射する250nm以下の特定波長を有するs偏光に対して反射防止効果を有する多層反射防止膜。
請求項（抜粋）：
少なくとも1つの低屈折率層と少なくとも1つの高屈折率層とが交互に積層された積層体を備え、該積層体における最外層のうちの少なくとも一方が低屈折率層であり、該低屈折率層の側から入射する250nm以下の特定波長を有するs偏光に対して反射防止効果を有する多層反射防止膜。
IPC (3件)：
G02B 1/11
, G03F 1/14
, H01L 21/027
G02B 1/10 A
, G03F 1/14 F
, H01L 21/30 574
