特許

J-GLOBAL ID：200903035212757202

光学要素用の取付装置

発明者： ヨヘン ベッカー ,  ベルンハルト ゲルリヒ ,  ヴェルナー ラング ,  アレクサンダー コール ,  ザシャ クラオス
出願人/特許権者： カール-ツァイス-スティフトゥング トレイディング アズ カール ツァイス
代理人 (1件)： 細田 益稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-318392
公開番号（公開出願番号）：特開2002-139661
出願日： 2001年10月16日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】 一体化された微調整機能ユニットにより高い位置決め精度を達成することが可能な光学要素用の取付装置を提供する。【解決手段】 本取付装置の場合、特に半導体リソグラフィ用の投射レンズ系におけるレンズのような光学要素は内側マウントと外側マウントとを有し、上記内側マウントは周方向に分散された3つの固体関節を介して上記外側マウントに接続されている。上記内側マウントを変位させることが可能なマニピュレータは、上記固体関節に作用する。これら固体関節は、Tバー部とTサポート部とを有する断面T字状のものである。上記内側マウントと外側マウントとの間の装着点は、上記Tバー部の外側端部の領域に各々位置される。また、上記マニピュレータは上記Tサポート部に各々作用する。

請求項（抜粋）：

光学要素用の取付装置において、内側マウントと外側マウントとを有し、前記内側マウントは3つの周方向に分散された固体関節を介して前記外側マウントに接続され、当該装置は前記固体関節に作用して前記内側マウントを変位させることができるマニピュレータを有し、前記固体関節はTバー部とTサポート部とを有する断面T字状のものであり、前記内側マウントと前記外側マウントとの間の装着点は前記Tバー部の外側端部に各々位置され、前記マニピュレータは前記Tサポート部に各々作用することを特徴とする光学要素用の取付装置。

IPC (2件)：

G02B 7/02 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G02B 7/02 A ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (3件)：

2H044AA16 ,  2H044AA20 ,  5F046CB27

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 光学システム、特にマイクロリソグラフィ-に用いられる投影照明ユニット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-348922   出願人：カール-ツアイス-スチフュングトレディングエーエスカールツアイス