特許

J-GLOBAL ID：200903035222262333

マルチビーム検査装置

発明者： 中筋 護
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-289786
公開番号（公開出願番号）：特開平10-134757
出願日： 1996年10月31日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】 荷電粒子線を用いて高いスループットで試料の欠陥検査等を行う。【解決手段】 ウエハ6上の複数の計測点7A〜7Cに1次電子AEを照射し、計測点7A〜7Cから発生する2次電子を球殻状の電極15の開口16A〜16Cを介して2次電子検出器17A〜17Cで検出し、2次電子検出器17A〜17Cの検出信号を波形比較器19A〜19Cで参照信号と比較して欠陥検査を行う。走査用偏向器5で計測点7A〜7Cをウエハ6上で2次元的に走査するのと同期して、偏向器13によって各計測点から発生する2次電子を対応する開口16A〜16Cの方向に偏向することによって、ウエハ6の表面を複数の計測点で並列に走査する。

請求項（抜粋）：

試料上の複数の計測点に荷電粒子線を照射する照射系と、前記試料からの2次電子、又は反射荷電粒子を集めるために前記試料に対して凹の曲面を向けて配置され、該曲面上に前記計測点に対応させて1個又は複数個の開口が形成された電極と、該電極の前記開口の外側に配置されそれぞれ前記開口を通過した2次電子、又は反射荷電粒子を検出する複数個の検出器と、を有することを特徴とするマルチビーム検査装置。

IPC (4件)：

H01J 37/28 ,  G01B 15/00 ,  H01J 37/29 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

H01J 37/28 B ,  G01B 15/00 B ,  H01J 37/29 ,  H01L 21/66 J