特許

J-GLOBAL ID：200903035223560362

窒化アルミニウム焼結体およびセラミック基板

発明者： 平松 靖二 ,  伊藤 康隆
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 安富 康男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-316514
公開番号（公開出願番号）：特開2003-212658
出願日： 2000年02月24日
公開日（公表日）： 2003年07月30日
要約：

【要約】【課題】 機械的強度に優れ、その表面や側面からセラミック粒子が脱落してパーティクルが発生することがない窒化アルミニウム焼結体を提供する。【解決手段】 イオウを含有していることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。

請求項（抜粋）：

イオウを含有していることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。

IPC (5件)：

C04B 35/581 ,  H01L 21/68 ,  H05B 3/10 ,  H05B 3/20 393 ,  H05B 3/74

FI (5件)：

H01L 21/68 R ,  H05B 3/10 C ,  H05B 3/20 393 ,  H05B 3/74 ,  C04B 35/58 104 A

Fターム (53件)：

3K034AA02 ,  3K034AA04 ,  3K034AA10 ,  3K034AA12 ,  3K034AA16 ,  3K034AA21 ,  3K034AA33 ,  3K034AA34 ,  3K034BB06 ,  3K034BB14 ,  3K034BC04 ,  3K034BC17 ,  3K034JA10 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB03 ,  3K092QB18 ,  3K092QB43 ,  3K092QB44 ,  3K092QB75 ,  3K092QB76 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF17 ,  3K092RF27 ,  3K092VV31 ,  3K092VV40 ,  4G001BA03 ,  4G001BA36 ,  4G001BA60 ,  4G001BA85 ,  4G001BB36 ,  4G001BB71 ,  4G001BB73 ,  4G001BC13 ,  4G001BC17 ,  4G001BC23 ,  4G001BC42 ,  4G001BC52 ,  4G001BC55 ,  4G001BC72 ,  4G001BC73 ,  4G001BD03 ,  4G001BD11 ,  4G001BD37 ,  4G001BD38 ,  4G001BE26 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA16 ,  5F031HA37 ,  5F031PA26